MEMS和微系统

微系统近年来迅速发展，在航天、汽车、生物技术、消费产品、国防、环境保护和安全、保障、制药，以及远程通信工业等方面都有广泛的应用。本书对MEMS技术的基础进行了深入的观察，共分11章，介绍了微系统工程的发展，市场，产品，微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、微系统工程的材料、微制造和微加工工艺及微系统的设计和封装等内容。 本书可作为本科生或研究生课程的教材，还可以作为专业人士及相关人员了解MEMS参考书。