纳米集成电路制造工艺（第2版）

随着科技的飞速发展，集成电路的尺寸越来越小，性能却越来越强大。然而，在追求更高集成度和性能的同时，我们也面临着前所未有的挑战。本书的出版正是为了帮助读者了解这些挑战，并掌握解决这些问题的方法。

张汝京，1948年出生于江苏南京，半导体行业领军人物。毕业于台湾大学，获美国博士学位。曾在德州仪器工作20年，成功创建并管理10个集成电路工厂。2000年创办中芯国际，2012年创立昇瑞光电。2014年成立上海新昇半导体，致力于高端大硅片研发。曾获国际科学技术合作奖、中国半导体业领军人物称号等荣誉。

《纳米集成电路制造工艺（第2版）》一书详细阐述了纳米级集成电路的制造工艺，涵盖了从基础理论到实际应用的全过程。本书不仅介绍了各种半导体器件的原理和制造技术，还深入探讨了集成电路制造中的关键技术，如光刻、刻蚀、清洗、平坦化等，为读者提供了全面且深入的了解。

本书适合以下读者群体： 1. 电子工程、微电子学等相关专业的本科生和研究生
2. 半导体行业的技术研发人员
3. 对集成电路制造工艺感兴趣的工程师和科研人员
4. 对纳米技术、集成电路发展动态感兴趣的普通读者。